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BJSM真空直線電機平臺

文章來源:未知時間:2020-12-31 點擊:

 

慧摩森多軸真空直線電機平臺適用于真空度10-8torr的環境,可根據客戶要求定制。系統應用:空間技術、生物醫療、粒子物理、核工業、航天航空、材料表面分析、顯微技術、半導體制造等

 
詳細說明


BJSM真空直線電機平臺
1、可定制軸數:1-5軸
2、單軸有效行程:0-2000mm 
3、重復定位精度:≤+/-2um;定位精度:≤+/-2um
4、最大速度:1m/s
5、加速度:1G
6、直線度:≤10um
7、使用環境:真空度 10-8 torr  

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